金剛石線切割機(jī)利用金剛石線的高硬度和耐磨性,通過(guò)單向循環(huán)或往復(fù)循環(huán)運(yùn)動(dòng)的方式,對(duì)各種硬脆材料進(jìn)行精密切割,主要通過(guò)金剛石線與被切割物件間的相對(duì)磨削運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)切割目的。金剛石線在機(jī)械的驅(qū)動(dòng)下,沿著特定的路徑高速運(yùn)動(dòng),由于金剛石的硬度遠(yuǎn)高于大多數(shù)材料,因此能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)硬質(zhì)材料的精密切割。
金剛石線切割機(jī)的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)分析:
-速度快:切割速度是傳統(tǒng)砂漿切割工藝的五倍。
-耗時(shí)短:傳統(tǒng)砂漿切割一片硅片約需10小時(shí),而金剛線切割僅需2小時(shí)。
-磨削效率高:采用固結(jié)磨料顆粒技術(shù),磨料顆粒直接作用于工件上,提高切割效率。
-單片成本低:由于金剛石線切割漏損少,壽命長(zhǎng),因此單片成本較低。
-維護(hù)成本低:由于其耐用性和穩(wěn)定性,減少了頻繁更換切割線的需求,從而降低了維護(hù)成本。
-損傷層小:金剛石線切割造成的損傷層小于砂漿線切割,有利于切割更薄的硅片。
-表面質(zhì)量好:金剛石線切割技術(shù)能夠保證相對(duì)較高表面質(zhì)量的晶片切割需要。
-固結(jié)磨料技術(shù):金剛石線制備技術(shù)屬于固結(jié)磨料顆粒的技術(shù),這種創(chuàng)新技術(shù)大大提高了切割效率。
-剛性切割加工方法:金剛石線切割方式基于固結(jié)在鋼絲上的磨料顆粒與工件材料之間的二體磨損切割原理,是一種剛性切割加工方法。
-適用于大尺寸材料:金剛石線切割技術(shù)能夠滿足大尺寸硅片的加工問(wèn)題。
-適用于硬脆材料:金剛石單線切割機(jī)在第三代半導(dǎo)體硬脆材料的切割中表現(xiàn)出其優(yōu)勢(shì)。
-減少材料損耗:由于其高精度切割能力,能夠減少材料損耗,更加環(huán)保。
-降低能耗:快速的切割過(guò)程相比傳統(tǒng)方法能夠降低能耗,符合節(jié)能減排的要求。
-自動(dòng)化程度高:通常配備自動(dòng)化控制系統(tǒng),操作簡(jiǎn)便,減少人為錯(cuò)誤。
-兼容性好:能夠兼容不同尺寸和材料的切割需求,提高了設(shè)備的適用范圍。
-耐磨損能力強(qiáng):金剛石硬度高,耐磨損能力強(qiáng),從而切削和使用壽命更長(zhǎng)。
-穩(wěn)定性高:金剛石線切割機(jī)的穩(wěn)定性高,能夠在長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作中保持高效切割。